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現代新型空氣過濾器主要有哪些特點？

    隨著科學技術的發展，在潔凈室中除了要求控制微粒、微生物的濃度外，化學污染物或重金屬物質對產品質量和人員健康的影響也日益受到關注。尤其是超大規模集成電路生產技術的飛躍發展，空氣中能夠危害產品生產質量，引起產品成品率降低的化學污染物質被稱為“分子級污染物”（“AMC”是Airborne Molecular Contamination的縮寫），國際半導體設備與材料協會( SEMI)在F21-95標準中將“分子級污染物”分為四類，即酸性(MA)、堿性(MB)、可凝性(MC)、摻雜性(MD)，對每一類分為5個濃度等級。

    新型空氣過濾器能過濾的化學物質，空氣中的AMC的污染物包括多種有害氣體和金屬離子，屬于酸性AMC的化學腐蝕性氣相物質有氟化氫(HF)、二氧化硫(SQ2)、傳遞窗規格，氯化氫(HCI)、氮氧化物(NO。)等；堿性AMC主要有氨氣(NH3)、甲胺(CH3NH2)等；可凝性AMC是指在常溫常壓下能在干凈表面凝結的氣相物質，如有機氣體、碳氫化合物等；摻雜性AMC是指能夠改變半導體材料性能的化學物質，如硼(B)、磷(P)、鉀(K)、鈉(Na)、鈣(Ca)和各種金屬離子等。

    為了控制潔凈室內空氣中各類化學污染物濃度，應采用多種污染物控制技術措施，包括潔凈室建造材料污染物控制、人員污染物控制、原輔材料污染物控制、生產工藝方法污染控制、室外和室內空氣污染物控制等。對潔凈室凈化空調系統，應根據要求裝設化學過濾器或在潔凈室內設局部超凈設備或微環境隔離易受AMC污染危害的生產工藝或生產設備。目前國內外都在研究開發各種類型的化學過濾器，國外傳遞窗柜已有化學過濾器系列產品出售，表4-46是日本一家公司生產的化學過濾器技術數據。

    我公司生產多種類型的化學空氣過濾器www.yzshgd.com，如GENC型潔凈室用多V型化學過濾器，采用0.SJum微球活性炭，不破裂、不發塵，負載在聚氨酯三維多孔載體上，濾材標準厚度為(20±2) mrn;有三種濾料，即T20-A堿性氣體用，T20-C酸性氣體用，T20-L有機氣體用；一層濾料在面風速為2.5m/s時的阻力為50Pao外框材料為不銹鋼。

   ENC適用于凈化空調系統新風、循環風處理。ENP型板式化學過濾器，濾料與“ENC”型相同，標準產品裝有三層不同濾料，在面風速為0.3m/s時，阻力為20Pa;外框材料為鋁合金，“ENP”外形。高效／化學復合過濾器，它是由HEPA/ULPA過濾器和化學過濾器組合制造，可同時去除空氣中的超細微粒和分子污染物；濾材可采用制作HEPA/ULPA的三種濾料和三種濾料，即通用性玻璃纖維、低硼石英玻璃纖維、—PTFE膨體聚四氟乙烯和T20-A、T20-C、T20一L，在面風速為0.3m/s時，阻力約為130Pa;這種過濾器適合于高級別潔凈室中的微環境和在生產工藝設備中配用。